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西努光学MX63系列显微镜助推半导体产业升级

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2017-09-08 11:10  点击数:376

【导读】 近半个世纪前,硅谷之名在太平洋彼岸诞生。但这个名字并不是一个行政区划地名,之所以以此命名,是因为当地的企业多数从事于由高
 近半个世纪前,“硅谷”之名在太平洋彼岸诞生。但这个名字并不是一个行政区划地名,之所以以此命名,是因为当地的企业多数从事于由高纯度硅制造的半导体产业活动。虽然随着时代和技术的发展,现在的硅谷以软件和互联网等高科技产业著称,其核心产业越来越远离半导体,但半导体产业在全世界经济中所占的分量仍然只增不减。

  半导体产业

  虽然半导体在硅谷衰落,但“亚洲制造”的力量不容小觑,半导体在亚洲地区成为了重要产业。近年来中国半导体产业快速发展,其销售额甚至超越了全球和美国的平均水平,占据了全球半导体产业的三分之一。不过相比于高额的销售量,大量进口的半导体材料折射出了国内在半导体材料产业的弱势。

  半导体材料产业处于集成电路制造环节的上游,材料的质量直接影响集成电路产品质量。作为半导体产业中规模最大的产品,集成电路生产工艺极为精细和复杂,任何一步发生错误都会造成器件失效。因此,针对以精细著称的半导体产品,质量检测离不开更为精细化、智能化的仪器设备。为了更好地满足半导体行业用户对产品质量检测的需求,上海西努光学科技有限公司秉持着“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经验思路,特此引进并向用户推出奥林巴斯新一代半导体MX63和MX63L工业检测显微镜。

  MX63系列工业检测显微镜

  凭借功能性、人性化、先进成像技术以及模块化四大特色,MX63和MX63L工业检测显微镜能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷,及时发现产品问题所在并予以解决。

  一、功能性:先进的分析工具

  1、MIX+Stream不再“雾里看花”

  从最基本的功能性来说,MX63系列绝对是一款先进的分析工具,能够满足行业用户对样品进行可靠的缺陷检测。借助全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项,用户在评估样品和存档检测结果时将会有更多选择。

  以半导体产业最重要的根基——晶圆为例,传统显微镜在观察时会由于功能不足,明场条件下难以观察到清晰的集成电路图形,暗场又看不见晶圆的颜色。 为了保证质量,检测过程中还会检查晶圆中残留的光致抗蚀剂等污染物。传统显微镜荧光条件下可以观察到残留物,但却看不见样品本身;暗场条件下看见了样品,残留物又看不清晰了。为了保证在明场与暗场、荧光或偏光各种条件下,都能得到想要的观察图像,MX63系列采用MIX观察技术,帮助用户不再“雾里看花”。

  MIX观察技术

  通过显微镜观察到之后又想生成图像怎么办?MX63系列先进的图像采集技术开发出多种功能,帮助用户轻松生成需求的图像。譬如多图拼接(MIA)功能,用户只需移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速地完成图像拼接。再利用Stream软件的图案识别功能最终生成全景图像,从而获得更宽的视场。如果想获得摄影作品那般的景深效果又该如何?Stream软件的扩展聚焦成像(EFI)功能就可以满足。

  此外,专业级报告对图像的视觉品质有要求。图像上的眩光问题想必困扰了不少用户,M63系列的高动态范围(HDR)功能就可以调整亮度差异从而解决这一影响画质的问题。体现出该系列显微镜与其他同类产品相比,精益求精的高端之处。

  2、Stream最大限度减轻用户工作负担

  靠肉眼观察无法确定产品质量是否合格,用数据说话才能真正保质保量。Stream软件同样包括交互测量功能,可满足电路板图形之间距离等基本数据测量。为了缩短测量过程中大量重复性任务的处理时间,Stream还推出了材料解决方案,可为复杂图像分析提供直观的工作流界面,用户只要点击按钮就能快速精准完成图像分析任务。

  测量技术

  采集完图像并得到了测量结果,就该写让人头痛的复杂报告了。对此,Stream软件也能为用户办到。除了提供模板,简化编辑方式,软件还可以自动导出大小适中、便于邮件传输的MicrosoftWord或PowerPoint文件,真正让用户体验到了“轻办公”。此外,使用DP22或DP27显微镜相机的MX63是一套独立系统,所以采集图像和基本测量工作都可以在几乎不占空间的条件下完成。如此一来,实验室空间得到了充分利用,用户的工作环境也变得更为舒适。

  3、专为洁净室工作而设计

  实验室内工作最害怕什么?样品污染或者受损!这将导致前期为样品准备的一切工作付诸流水。MX63系列在考虑到这一点的同时,加入了人体工学设计,保证用户在长时间使用中既能保证舒适,还能保证样品不受污染。以下四大功能真正让用户的双手远离了样品。

  ①选配晶圆自动搬送机 — AL120系统*:“懒人”福音

  这款搬运机与显微镜相结合使用,可以安全地将硅及复合半导体晶圆从晶圆匣运送到显微镜载物台上。从此操作人员再也不必使用镊子或者其他工具战战兢兢地运送样品了。

  MX63系统与AL120晶圆自动搬送机结合使用(200毫米型号)

  ②防护结构壳+电动物镜转换器:快速、清洁

  显微镜所有电动组件都被安装在防护结构壳内,显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理,实现了无污染的晶片检测。而电动物镜转换器不仅缩短了检测间隔时间,还让操作人员的手始终保持在晶圆下方,避免了潜在的污染。

  防静电呼吸罩和电动物镜转换器

  ③内置离合+倾斜观察镜筒:高效、舒适

  只要利用内置离合和XY旋钮,就可以实现对载物台运动的粗调和微调,样品再大都能实现高效观察。此外,倾斜观察镜筒的扩展范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

  载物台手柄和倾斜观察镜筒

  ④系统配置:适合所有晶圆尺寸

  该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆托架和玻璃台板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化,可更改载物台或镜架。有了MX63系列,各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125毫米和150毫米晶圆。

  晶圆托架和玻璃台板

  二、人性化:“有温度”的人体工学设计

  MX63系列不止是一套功能多样的优质设备,还是一件有温度的人性化产品。该系列的“贴心”之处充分体现在显微镜操作上。想必不少初学者在使用相机时会出现对焦不准、照片模糊、曝光不足等等问题。相比于经验丰富者倾向于手动调整焦距、光圈、速度,一般人比较喜欢选择自动功能。同样使用光学原理制成的显微镜有没有这种自动功能呢?MX63告诉你,也可以轻松做到。针对裸晶片之类低对比度样品,MX63系列在光程中插入聚焦辅助,可以帮助用户快速找到焦点。此外,相比于需要手动调整光强度和孔径的传统显微镜,用户使用MX63系列时,可以针对不同的倍率和观察方法设定光强和孔径条件。需要的时候能够轻松调用这些预先设定的设置,既能节省时间又可获得优良的图像质量,免去了用户的使用烦恼。集中化显微镜操作、手动开关以及快照按钮等其他人体工学设计,也大大提升了MX63的人性化水平。

  多种人体工学设计

  三、先进成像技术:精细的光学性能与数码成像

  奥林巴斯以高质量光学器件和先进数码成像技术的悠久历史闻名。MX63系列同样为质量检验提供了精细的光学性能和数码成像技术,充分体现了奥林巴斯的工艺水平。

  随机点样本和强度分布

  物镜镜头的光学性能对于观察图像品质和分析结论有着直接影响。MX63的UIS2高倍率物镜最大限度减小波阵面像差,从而帮助用户获取可靠的分析结果。高强度白色LED光源可保持始终如一的色温,色彩再也不会因为光强的变化而变化,可靠的图像质量和色彩浮现得以实现。除了图像生成和分析,后续的测量工作也可以借助Stream软件的自动校准功能提升可靠性。这款软件还具备阴影校正功能,可解决图像角落周边阴影问题。在配合强度阈值设置使用时,阴影校正可实现更加精确的分析。

  四、模块化:兼容性和灵活性兼备

  用户需求永远存在差异,个性化的需求能够用标准化的技术生产体系来满足吗?倒不如将生产体系调整为模块化,生产出模块化产品来缓解这种矛盾。MX63系列就是一款极具兼容性和灵活性的模块化产品,让用户能够选择各种光学器件满足其特定的检测和应用需求。用户还可以从一系列的Stream图像分析软件包中进行选择,以满足其特定的图像采集和分析需求。

  在兼容性上,无论是MX63系统还是MX63L系统,都具有相同的较小占用空间,可兼容多种样品规格。在物镜选择上,也兼容红外观察。5X到100X红外物镜可实现从可见光波长到近红外波长的色差校正。

  在灵活性上,用户完全可以按自己的要求打造独有的奥林巴斯系统。显微镜镜架、镜筒、目镜、载物台、光源、物镜转换器、滑块、手动控制器、相机适配器、滤光片、分光镜组件、透射照明单元、中间镜筒、UIS2物镜……这些组件均具备多种规格供用户挑选搭配。MX63系统在模块化上可以说做到了一种极致。

  产品设计

  集四大特色于一身的MX63和MX63L工业检测显微镜,以最先进全面的技术和最实用舒适的设计,成为业内同类产品之间的佼佼者。上海西努光学科技有限公司于近几年获得了奥林巴斯品质管理资格认可,并开始引进奥林巴斯工业显微镜产品。凭借十余年的行业经验和对用户需求的精准分析,西努光学推出MX63系列,为用户提供卓越的光学解决方案,助力电子制造业尤其是半导体产业在我国的升级改造。未来随着企业技术、资源和服务的提升,相信西努光学将继续在国内光学产品供应商当中一路领跑,在获得更多国内外仪器厂商认可的同时获得用户的信赖。

 

关键词: 西努光学 显微镜

  来源:上海西努光学科技有限公司

 
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